021-57632846
项目名称：深圳某硅光技术企业上海研发中心净化车间EPC工程
项目挑战：
微尘控制 硅光芯片晶圆测试及COB封装对颗粒物极为敏感，常规洁净环境无法满足光耦合工序要求
静电防护 光通信器件测试过程中静电放电（ESD）会导致芯片损伤，需同步解决微尘与静电双重难题
设备密集区气流组织 测试设备密集排布，存在散热不良与气流死区风险
实时监控需求光通信产品高频测试需对环境参数实时反馈，传统巡检模式无法保障零缺陷生产
解决方案
解决措施 技术要点
微环境（Mini-Environment）设计 在高洁净度大环境下，对光耦合机台内部单独加装ISO Class 4（十级）局部层流罩
优化气流组织 合理布置回风柱，解决设备密集区域散热与气流死区问题
在线粒子监控系统（FMS） 装FMS系统实时反馈生产状态，实现环境参数动态管控
闭环管理经验 将闭环管理理念贯彻项目全过程，确保施工与运维标准统一
📊 项目成果
成果指标 数据/描述
洁净等级 核心光耦合区域达到ISO Class 4（十级）
环境保障 为光通信产品高频测试提供零缺陷环境保障
静电控制 通过微环境隔离设计与静电防护措施，有效降低ESD风险
实时监控 FMS系统实现7×24小时在线粒子监控，异常即时预警
项目周期 95天
客户验收 一次性通过第三方CMA检测
