021-57632846
项目名称： 浙江某智能感知企业红外焦平面阵列探测器洁净车间建设工程
项目地点： 中国·浙江
所属行业： 光学光电 / 半导体传感器
核心区域： 光刻区、MEMS（微机电系统）封装区
该企业专注于非制冷红外焦平面阵列探测器的研发与生产。该产品属于高端MEMS传感器，其核心制造工序面临两大极端环境挑战：
1. 极致的湿度控制： 红外探测器封装对环境中的水汽极为敏感，残留水汽会严重影响探测器的探测率（D*）与信号稳定性。要求洁净室内干燥空气露点需持续稳定在 ≤ -40℃，以防止器件性能衰减。
2. 高洁净度与防静电需求： 核心光刻及MEMS封装工艺需要 ISO 14644-1 Class 1000级（相当于Fed-Std-209E Class 1000） 的洁净环境，以控制微颗粒污染。同时，红外材料脆弱，对静电极为敏感，常规操作中的静电放电（ESD）可能导致芯片报废。
上海碧环凭借在高精度净化工程领域的深厚积淀，为客户提供了“交钥匙”整体解决方案：
1. 超低露点干燥空气系统： 针对露点≤-40℃的严苛要求，我们设计并安装了专用的组合式转轮除湿空调系统，结合深度冷却技术，确保在任何季节都能稳定提供超干燥空气，从源头杜绝水汽侵害 。
2. 高洁净度环境构建： 采用全新风+FFU（风机过滤单元）系统布局，实现Class 1000级高洁净等级。我们特别采用了全不锈钢传递窗及充氮气真空预抽系统，在物料传递环节即进行二次净化与预抽，彻底杜绝交叉污染。
3. 防静电与高照度工艺细节： 针对红外材料脆弱的特性，车间地面铺设防静电PVC地板，有效控制静电产生。同时，为满足高倍显微镜下人工键合等高精密操作，我们优化了照明方案，将车间照度严格控制在800Lux以上，保障了操作人员的视觉精准度。
项目成果
· 一次性通过测试： 项目竣工后，颗粒物浓度与空气露点测试一次性通过验收，数据优于设计指标。
· 良率显著提升： 新洁净车间投入使用后，成功助力客户探测器封装良率从行业平均水平突破至95%以上，大幅降低了制造成本，提升了产品市场竞争力。
· 客户评价： （可预留位置，若有客户证言可补充） “上海碧环团队专业高效，深刻理解我们的工艺难点，交付的洁净车间完全达到了国际一流的生产标准。”
