某AI芯片设计公司-上海碧环净化工程有限公司

关键词：

当前位置：

半导体无尘车间

项目单位：上海某头部AI芯片设计公司

项目性质：既有研发楼宇实验室洁净室改造EPC工程

服务商：上海碧环净化工程有限公司（www.sh-bh.cn）

面临的挑战（Challenge）

该客户研发中心需引入电子束光刻机用于65nm制程芯片验证，但原场地存在三大致命缺陷：

1. 微振动超标：大楼位于主干道旁，低频振动及设备运行干扰远超光刻机允许阈值（需满足VC-D级标准）。

2. AMC分子污染：光刻胶挥发产生的有机污染物（AMC）易导致镜面雾化，严重影响图案精度。

3. 工期极限：芯片流片日程紧迫，要求45天内完成改造并投入使用，且装修材料需零残留，避免二次污染设备。

碧环解决方案

上海碧环净化工程团队凭借在半导体微电子领域的深厚积淀，迅速制定“结构隔振+空气提纯+快速施工”三位一体策略：

1. 结构微振动控制（VC-D级）：

· 采用“弹簧隔振器+气浮平台”复合隔振地基，隔绝外界轨道交通及楼宇空调机组振动。

· 通过模态分析调整设备布局，将光刻工位振动速度严格控制在 ≤1μm/s（VC-D级标准），确保电子束曝光稳定性。

2. AMC气态分子污染物控制（ppt级）：

· 针对光刻胶挥发性有机物，定制高效化学过滤器（填充式活性炭+高锰酸钾氧化铝），安装于新风系统及FFU循环单元。

· 将洁净室内分子级污染物浓度降至 ppt（万亿分之一）级别，杜绝光学镜面化学反应风险。

3. 绿色快速交付（EHS合规）：

· 采用低挥发性（VOCs）环保建材，所有密封胶及板材均经过预处理脱附。

· 启用预制化加工+夜间施工模式，减少现场湿作业，45天完成结构改造、洁净装修及系统调试。

成果与数据价值

通过碧环净化的一站式洁净环境构建，客户获得了显著的商业与技术回报：

核心指标改造前状态碧环交付数据业务价值体现

振动控制无法满足光刻机启动条件 VC-D级（≤1μm/s）保障65nm光刻图案无畸变，验收一次性通过

AMC浓度浓度不可控，存在晶圆污染风险分子级污染物 ≤ ppt级别延长光刻镜组寿命，降低设备维保成本30%

交付周期行业平均需60-75天仅用45天抢回15天研发窗口，助力客户提前锁定流片排期

环境达标需空置散味2周以上完工3天即入场使用零残留环境，设备搬入即调试，无需等待

客户反馈： “碧环不仅解决了光刻机‘站不稳’和‘呼吸不畅’的难题，更用45天的‘碧环速度’让我们在激烈的AI芯片竞争中占得先机。流片验证阶段良率表现优异。”

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