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某光刻胶企业

介绍

针对光刻工艺对环境的极致要求，碧环为某光刻胶研发实验室定制恒温恒湿洁净室。采用“二次回风+电加热+电极加湿”精密控制路径，配合SIEMENS自控系统，实现全区域温度波动≤±0.15℃，湿度波动≤±1.2%RH。送风系统采用变频风机，根据室内负荷自动调整送风量，兼顾精度与节能。同时设置多点温湿度传感器，消除垂直温度梯度。项目竣工后经第三方检测，全部测点数据达标，部分指标优于设计值。客户评价碧环“将闭环管理经验贯彻到每一个控制环节，给予了远超预期的环境保障”。

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